VAD沉积设备
光纤预制棒VAD（Vapor Axial Deposition，气相轴向沉积）是光纤制造中的一种关键技术。光纤预制棒的质量直接影响最终光纤的性能，VAD沉积被广泛应用于各类光纤的制造，尤其是高性能光纤如特种光纤和通信光纤等。通过VAD技术沉积的光纤预制棒，通常具备优异的传输性能和较低的损耗，对现代通信领域的高速发展起到重要推动作用。
产品详情
光纤预制棒VAD（Vapor Axial Deposition，气相轴向沉积）是光纤制造中的一种关键技术。光纤预制棒的质量直接影响最终光纤的性能，VAD沉积被广泛应用于各类光纤的制造，尤其是高性能光纤如特种光纤和通信光纤等。通过VAD技术沉积的光纤预制棒，通常具备优异的传输性能和较低的损耗，对现代通信领域的高速发展起到重要推动作用。
VAD主要特点：
均匀性：VAD工艺能实现优质的沉积，形成均匀的光纤预制棒，减少缺陷。
可控性：能够精确控制材料的成分和沉积速度，从而可以调节所得光纤的光学性质。
高纯度：由于使用的气体化合物能够在高温环境下分解，VAD技术通常能获得高纯度的硅或锗材料。
主要技术指标
1 | 单次沉积数量 | 1 根 |
2 | 喷灯数量 | 2 个 |
3 | 沉积松散体最大直径 | Φ200mm |
4 | 沉积松散体最大长度 | 1300mm |
5 | 预制棒直径 | Φ90mm |
6 | 沉积最大重量 | 11kg |
7 | 沉积重量误差 | ±0.1kg |
8 | 沉积速率 | 10g/min |
9 | 附着率 | 60% |
10 | 1mm 以内气泡数量 | ≤5 |
11 | 使用原料 | SiCl4\SiGe4\H2\O2\Ar2 |
设备组件
| 1 | 沉积舱 | 1 套 |
2 | 蒸发柜 | 1 套 |
3 | 气柜 | 1 套 |
4 | 废气处理装置 | 1 套 |
5 | 电控系统 | 1 套 |
备案号：鲁ICP备2022038891号-2